對(duì)液態(tài)樹脂進(jìn)行光掃描曝光的方法通常有兩種,圖(a)所示是一種由計(jì)算機(jī)控制的X-Y平面掃描儀系統(tǒng),光源可以經(jīng)過光纖傳送到安裝在y軸臂上的聚焦鏡中,也可通過一組定位反光鏡將光傳送到聚焦鏡中,并通過計(jì)算機(jī)控制使聚焦鏡在X-Y平面運(yùn)動(dòng),對(duì)液態(tài)樹脂進(jìn)行掃描曝光。
圖(b)所示是一種振鏡光掃描系統(tǒng),它是通過由振擺電機(jī)帶動(dòng)的兩片反射鏡,根據(jù)控制系統(tǒng)的指令,按照每一截面輪廓的要求做高速擺動(dòng),從而將激光器發(fā)出的光束反射并聚焦于液態(tài)光敏樹脂表面,并沿此面做X-Y方向的掃描運(yùn)動(dòng)。激(a) X-Y軸掃描儀方式圖2-3 光掃描原理(b)振鏡掃描方式。
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